HD500 - täiesti uus HD-seeria komposiit-ioonkatte seade

HD500 on ehitatud Huashengi täiesti uuele komposiitkatte tehnoloogiaplatvormile, mis võimaldab komposiitprotsessi raamistikku, mis integreerib kõrge ionisatsiooniga pihustamise ja kaarprotsessid. Selle tehnoloogia abil valmistatud kiled on mitmekülgsemad. Märkimisväärselt on neil selged eelised raskesti töödeldavate materjalide, sealhulgas roostevaba terase ja titaanisulamite töötlemisel. See pikendab oluliselt kasutusiga.

Lisaks pakub see tehnoloogia suuremat potentsiaali tulevaste protsesside täiustamiseks. Samal ajal on sellel suurepärane paindlikkus, mis võimaldab tal täita nii väikesemahulise katete tootmise kui ka protsesside uurimise ja arendamise nõudeid.

Võtke meiega ühendust

HD500 tehnilised omadused

Unikaalne külgmine söövitamine

√ Suurepärane ühtlus külgmisel söövitamisel

√ Suurepärane söövitusüleulatuv omadus ja mugav hooldus

Komposiit-HiPIMS-magnetroni pihustamine

√ Varustatud DC + HiPIMS MS allikatega, tagab see kõrge sadestamiskiiruse, täites samal ajal tulekindlate metallide (nt Nb, BC, W, V jne) sadestamiseks vajalikud energiavajadused, ning on võimeline sadestama peaaegu kõiki materjale.

Plasma jaoks optimeeritud mitme kaare allikas

√ Varjatud kaare süttimise mehhanism, mis on varustatud 3 rühmaga, millest igaüks koosneb 6 ümmargusest mitme kaarekujulisest sihtmärgiallikast, on usaldusväärne ja hõlpsasti hooldatav.

√ See võimaldab hõlpsalt saavutada mitmeelemendilise ja mitmekihilise õhukese kile sadestamise.

√ Optimeeritud plasma mitme kaare allikas tagab siledama õhukese kile pinna.

√ Sihtmaterjali kasutamise määr on äärmiselt kõrge.

Mitme sadestamise tehnoloogiaplatvormid

√ Realiseerida samal platvormil mitu õhukese kile sadestamise tehnoloogiat, sealhulgas DC MS + HiPIMS MS + mitme kaarega ioonkatmine, ning rakendada ühes partiis ühe-, komposiit- ja segakatmismeetodeid.

Toote parameeter

HD500

Nimi	Parameeter
Kattetehnoloogia	Täiesti uus komposiitkatte tehnoloogia
Söövitamine	Külgmine ioonallikas (kuum hõõgniit)
Mitme kaare allikad (arv)	6
Magnetroni katoodid (arv)	1
Seadme suurus (mm)	pikkus3400laius1600kõrgus2600
Kambri maht (m³)	0,7
Efektiivne katmisala (mm2)	F410*400
Maksimaalne töötemperatuur (℃)	700
Laadimisvõime (puude arv)	5
Tera laadimine (APMT1135)	6000 tk
Varda tera kandevõime (D4 * 50L)	1800 tk
Maksimaalne laadimiskaal (KG)	300
Võlli läbimõõt	F130
Protsessi aeg	AlTiN: 6–8 tundi