-
Mis on vaakumkatmisseadmete tööpõhimõte?
+
A: See kasutab füüsikalise aurustamise (PVD) või keemilise aurustamise (CVD) tehnoloogiat sihtmaterjalide aurustamiseks vaakumkambris ja nende ühtlaseks sadestamiseks aluspindadele, moodustades nanoskaala funktsionaalseid katteid.
-
Millist rutiinset hooldust seadmed vajavad?
+
A: 1) Puhastage vaakumkambri jääkidest iga 50 töötunni järel; 2) Kontrollige mehaanilise pumba õlitaset ja tihendite terviklikkust igakuiselt; 3) Kalibreerige kile paksuse jälgimissüsteeme iga kvartali tagant. Optimaalse jõudluse tagamiseks on soovitatav kasutada originaaltarvikuid.
-
Milliseid materjale saab selle seadmega katta?
+
A: Ühildub metallide (Al/Ti), keraamika (Si3N4), polümeeride jne. Maksimaalne aluspinna suurus: Φ300mm × 500mm. Toetab ebakorrapärase kujuga toorikute katmist.
-
Milline on seadmete energiatarve?
+
A: Standardmudelitel on 15 kW nimivõimsus koos nutika energiasäästurežiimiga, mis vähendab ooterežiimi tarbimist 40%. Täiskoormusel töötamise hind on umbes 9 ¥/tund (põhineb tööstuslikul tariifil 0,6 ¥/kWh).
-
Kuidas lahendada protsessis esinevaid kõrvalekaldeid?
+
A: 1) Võrrelge HMI kaudu hiljutisi 10-partii protsessikõveraid; 2) Kontrollige kambri tihendust vaakumlekkedetektoriga; 3) Võtke kaugdiagnoosi saamiseks ühendust tehnilise toega (saadaval ööpäevaringselt).
HD500
