HD500 01
Laadimine
Laadige proovivõtusüsteem katmiskambrisse.
02
Vaakumpumpamine
PVD-katete sadestamisel on vaja kõrgvaakumit. Huashengi katmissüsteem toimib kahes etapis: esiteks vähendab mehaaniline pump vaakumkambri rõhku 1000 mbar-lt 10⁻⁹ mbar-ni; seejärel tekitab turbomolekulaarpump umbes 1x10⁻⁶ mbar kõrgvaakumi.
03
Küte
Kuumutage kamber umbes 500 ℃-ni, mis on tavapärane protsessitemperatuur.
04
Plasma söövitus
Huashengi katmissüsteem kasutab kolme erinevat söövitusprotsessi tehnoloogiat: HUASHENG® (külgmine hõõglahendus); argoonplasmasöövitus, hõõglahendus; metalliioonide söövitus (Ti+, Cr+).
05
Sadestumine
Katte sadestamine saavutatakse PVD abil (kaar-ioonkatmine, magnetronpihustamine või integreeritud katood HUASHENG®-tehnoloogia).
06
Jahutus
Jahutage katmiskamber maha.
07
Mahalaadimine
Eemaldage proovivõtusüsteem katmiskambrist.
01020304050607
01
Protsess 1
02
Protsess 2
03
Protsess 3
04
Protsess 4
05
Protsess 5
06
Protsess 6
07